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| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊 caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:313/100  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7 作者: Wang, W.; Bayanheshig; M. Pan; Y. Song and W. Li Adobe PDF(993Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:273/80  |  提交时间:2018/06/13 |
| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:267/76  |  提交时间:2018/06/13 |
| 干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文 激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343 作者: 宋莹 caj(261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:244/63  |  提交时间:2017/09/17 光栅 光栅曝光 数值计算 条纹相位变化 曝光对比度 掩模槽形 |
| Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12 作者: Wang, W.; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang and M. Pan Adobe PDF(1920Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:400/73  |  提交时间:2017/09/11 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 宋莹 Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:469/2  |  提交时间:2015/05/03 全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |