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| PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者: 陈芳; 方铉; 王双鹏 ; 牛守柱; 方芳; 房丹; 唐吉龙; 王晓华; 刘国军; 魏志鹏
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氮化铝 等离子增强原子层沉积 生长速率 结晶化 表面粗糙度 沉积温度 |
| Effect of deposition temperature on the structural and surface properties of AlN by plasma enhanced atomic layer deposition 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者: Chen, F.; X. Fang; S. Wang; S. Niu; F. Fang; D. Fang; J. Tang; X. Wang; G. Liu and Z. Wei
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| 聚合物太阳能电池阴极界面层及透明电极的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 林逢源
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聚合物太阳能电池 阴极界面层 透明电极 功函数 能量转换效率 |
| 大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 孙梦至
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中阶梯光栅 高质量铝膜 大面积均匀性 多步沉积 |
| 新型场效应晶体管的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 端鹏飞
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场效应晶体管 Moo3纳米片 透明电极 透明场效应晶体管 |
| 深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 赵灵
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深紫外 光学薄膜 吸收 激光量热法 |
| 激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193
作者: 赵灵; 武潇野; 谷勇强; 时光; 梅林; 才玺坤; 张立超
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薄膜 薄膜材料 193nm激光器 激光量热法 吸收系数 |
| P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 靳京城
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| ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 常艳贺
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| ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤 期刊论文
激光技术, 2014, 期号: 3, 页码: 302-306
作者: 常艳贺; 金春水; 李春; 邓文渊; 靳京城
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薄膜 激光损伤 氟化物 聚集密度 电场强度分布 |
