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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/96  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
Effect of deposition temperature on the structural and surface properties of AlN by plasma enhanced atomic layer deposition 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者:  Chen, F.;  X. Fang;  S. Wang;  S. Niu;  F. Fang;  D. Fang;  J. Tang;  X. Wang;  G. Liu and Z. Wei
Adobe PDF(1145Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/103  |  提交时间：2017/09/11
激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193
作者:  赵灵;  武潇野;  谷勇强;  时光;  梅林;  才玺坤;  张立超
caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/126  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  薄膜材料  193nm激光器  激光量热法  吸收系数  
ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤 期刊论文
激光技术, 2014, 期号: 3, 页码: 302-306
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  邓文渊;  靳京城
caj(4080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/75  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  激光损伤  氟化物  聚集密度  电场强度分布  
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学性能和结构表征 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 10, 页码: 136-140
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  靳京城
caj(868Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：530/102  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  沉积温度  热蒸发  Laf3  光学损耗  
镀银膜轴承在油和脂润滑下的摩擦性能 期刊论文
润滑与密封, 2011
作者:  白越;  高庆嘉;  吴宏圣
Adobe PDF(437Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/82  |  提交时间：2012/05/11
NH3等离子体后处理Co掺杂ZnO的薄膜结构及磁学性能 期刊论文
发光学报, 2011, 卷号: 32, 期号: 4, 页码: 383-385
作者:  白越;  赵东旭;  申德振
Adobe PDF(621Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/134  |  提交时间：2012/05/11