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| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 302-310 作者: 东立剑; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊 caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:336/88  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| 光瞳离轴自由曲面光学系统像差特性分析 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 102-111 作者: 史浩东; 张新; 李英超; 江伦; 王超; 刘壮; 姜会林 caj(6228Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:521/120  |  提交时间:2018/04/09 几何光学 自由曲面 光瞳离轴 节点像差 泽尼克多项式 |
| 偏轴自由曲面光学系统像差特性研究 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 7, 页码: 85-92 作者: 史浩东; 张新; 王灵杰; 王超; 姜会林 caj(1682Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:337/102  |  提交时间:2017/09/17 几何光学 矢量像差 Zernike多项式 自由曲面 偏轴 |
| 光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 6, 页码: 68-77 作者: 赵旭龙; 巴音贺希格; 李文昊; 姜岩秀; 杨硕 caj(409Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:364/173  |  提交时间:2017/09/17 光栅 消像差凹面全息 一体化设计 光栅设计 球面聚焦反射镜 光程函数 |
| 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268 作者: 姚长呈; 巩岩 caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:268/131  |  提交时间:2017/09/17 光学设计 主动光学 光刻物镜 热像差补偿 像散 |
| 非共面Offner结构高分辨率成像光谱仪设计 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 2, 页码: 78-84 作者: 高震宇; 方伟; 宋宝奇; 姜明; 王玉鹏 caj(1276Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:391/120  |  提交时间:2017/09/17 光学设计 成像光谱仪 光谱分辨率 像差校正 光线遮挡 |
| 激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 10, 页码: 385-392 作者: 郑立功; 郝腾; 国成立; 王若秋; 张志宇 caj(1198Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:405/63  |  提交时间:2017/09/17 测量 计算全息图 激光直写 标量衍射理论 对准区域 正交性误差 |
| 正交柱面镜像散位移测量方法的研究 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 204-209 作者: 韩庆; 王健; 李灿; 刘英; 孙强 caj(2150Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:347/79  |  提交时间:2016/07/06 测量 正交柱面镜 像散原理 矩阵光学 |
| 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142 作者: 代晓珂; 金春水; 王丽萍; 于杰 caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:371/115  |  提交时间:2015/04/17 光学设计 极紫外光刻 光纤点衍射 球面参考源 偏振控制 |
| 具有实入瞳的远心离轴三反系统研究与设计 期刊论文 光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122002-1 作者: 向阳 Adobe PDF(509Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:535/207  |  提交时间:2012/05/11 |