Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 正交柱面镜像散位移测量方法的研究 | |
韩庆; 王健 ; 李灿; 刘英; 孙强
| |
| 2015-07-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 07页码:204-209 |
| 摘要 | 为了实现物体位移测量的高精度,无损伤和简单化,对柱面镜像散效应进行了研究,利用正交柱面镜像散效应实现物体的位移测量。根据高斯光线追迹的矩阵方法,建立正交柱面镜的矩阵光线传播模型,并利用Zemax进行仿真验证;给出了正交柱面镜像散位移测量系统的矩阵传播模型,并具体分析了系统的量程和分辨率;进行实验验证,在5.6 mm量程范围内,实现了精度为200 nm的移位测量。该方法为位移测量提供了一种新的非接触、高精度的光学测量方式。 |
| 关键词 | 测量 正交柱面镜 像散原理 矩阵光学 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54282 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩庆,王健,李灿,等. 正交柱面镜像散位移测量方法的研究[J]. 光学学报,2015(07):204-209. |
| APA | 韩庆,王健,李灿,刘英,&孙强.(2015).正交柱面镜像散位移测量方法的研究.光学学报(07),204-209. |
| MLA | 韩庆,et al."正交柱面镜像散位移测量方法的研究".光学学报 .07(2015):204-209. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 正交柱面镜像散位移测量方法的研究.caj（2150KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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