Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析 | |
郑立功 ; 郝腾; 国成立; 王若秋; 张志宇
| |
| 2016 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 10页码:385-392 |
| 摘要 | 计算全息图(CGH)在非球面、自由曲面等光学元件的高精度检测中发挥着重要作用。激光直写机床导轨的正交性误差会影响CGH图案的绘制精度,进而在面形检测结果中引入像散误差。为定量研究激光直写机床导轨正交误差对CGH检测结果的影响,利用标量衍射理论,建立激光直写机床导轨角度误差模型,以CGH对准区域图案为例对机床导轨正交性误差的影响进行分析。实验结果表明在机床导轨正交性误差为800μrad时的均方根(RMS)值、峰谷值(PV)值和Zernike像散系数与理论值分别相差2.26%、2.33%、1.72%,从而验证所建立误差模型的正确性。 |
| 关键词 | 测量 计算全息图 激光直写 标量衍射理论 对准区域 正交性误差 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57755 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑立功,郝腾,国成立,等. 激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析[J]. 光学学报,2016(10):385-392. |
| APA | 郑立功,郝腾,国成立,王若秋,&张志宇.(2016).激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析.光学学报(10),385-392. |
| MLA | 郑立功,et al."激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析".光学学报 .10(2016):385-392. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息（1198KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 | |
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