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改进的激光光斑位置分辨率模型 期刊论文
中国激光, 2019, 卷号: 46, 期号: 09, 页码: 176-182
作者:  陈云善;  吴佳彬;  王景源;  张楠
caj(956Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：172/17  |  提交时间：2020/08/24
测量  四象限探测器  位置检测  位置分辨率  高斯光斑  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载：136/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度  
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：225/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
绝对辐射计一次反射不等效的影响及实验分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 186-192
作者:  唐潇;  方伟;  王玉鹏
caj(1120Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/118  |  提交时间：2017/09/17
测量  太阳总辐照度  有限元单元法  光电不等效性  世界辐射标准  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：301/76  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206
作者:  苏东奇;  苗二龙;  曲艺;  隋永新
caj(3041Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/124  |  提交时间：2016/07/06
测量  光学检测  猫眼  菲索干涉仪  波前  
四象限探测器位置检测精度的主要影响因素研究 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 306-314
作者:  张辉;  陈云善;  耿天文;  吴佳彬;  陈涛
caj(3675Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：276/128  |  提交时间：2016/07/06
测量  四象限探测器  检测精度  高斯光斑  信噪比  
基于叠栅条纹光电信号的全微分测速方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 11, 页码: 187-194
作者:  王亚洲;  万秋华;  王树洁;  杨守旺;  杜颖财
caj(1355Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：486/83  |  提交时间：2016/07/06
测量  光电轴角编码器  光电叠栅条纹  高精度测速  
大口径离轴非球面补偿检测的畸变校正 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 10, 页码: 205-211
作者:  陈哲;  张星祥;  陈长征;  任建岳
caj(1436Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/82  |  提交时间：2016/07/06
测量  离轴非球面检测  畸变校正  光线追迹  补偿检测  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/131  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量