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| 高时空分辨率动态星模拟器设计 期刊论文
光学精密工程, 2020, 卷号: 28, 期号: 03, 页码: 515-525
作者: 李成浩; 何煦; 姬琪 ; 张晓辉; 李宁
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空间望远镜 运动导星 稳像精度 硅基液晶 物镜 误差模型 |
| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
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光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
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投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
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光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| LED微投影系统设计与红光LED微显示阵列的制作研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 冯思悦
caj(5852Kb) | 收藏 | 浏览/下载：207/0 | 提交时间：2019/09/23
投影显示系统 投影物镜 Micro-LEDs MEMS技术 |
| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
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投影光刻物镜 偏振像差 琼斯矩阵 穆勒矩阵 |
| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者: 董世则; 郭抗; 李显凌; 陈华男; 张德福
caj(1307Kb) | 收藏 | 浏览/下载：464/145 | 提交时间：2018/04/09
光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
caj(2036Kb) | 收藏 | 浏览/下载：785/164 | 提交时间：2018/04/09
集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者: 东立剑; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊
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光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者: 张春雷; 徐乐; 刘健; 马占龙; 王飞; 谷永强; 代雷; 彭石军
caj(596Kb) | 收藏 | 浏览/下载：464/143 | 提交时间：2017/09/17
氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(Ibf) |
