|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式： |
| 用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者: 沈晨; 谭鑫; 朱继伟; 张伟 ; 齐向东
  收藏 | 浏览/下载：278/0 | 提交时间：2019/09/17
衍射光栅 曲面闪耀光栅 光栅刻蚀 三维工作台 圆弧拟合算法 轨迹误差 |
| 高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 沈晨
caj(7770Kb) | 收藏 | 浏览/下载：259/0 | 提交时间：2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机 三维工作台 凸面光栅 摆动刻蚀 硅改性RB-SiC |
| 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者: 刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格
 caj(466Kb) | 收藏 | 浏览/下载：398/111 | 提交时间：2017/09/17
激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 |
| 大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者: 陈琦
caj(653Kb) | 收藏 | 浏览/下载：357/110 | 提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统 高精度工作台 气体静压导轨 摩擦驱动 纳米级定位 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
caj(310Kb) | 收藏 | 浏览/下载：340/92 | 提交时间：2018/04/09
测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者: 李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格
caj(724Kb) | 收藏 | 浏览/下载：410/126 | 提交时间：2015/04/17
光栅 光栅刻划机 宏微两级工作台 Bp神经网络 Pid控制 自适应控制 |
| 全自动金丝球焊机X-Y工作台的误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 148-152
作者: 董吉洪; 徐宏
caj(104Kb) | 收藏 | 浏览/下载：393/81 | 提交时间：2013/03/11
微电子封装设备 全自动金丝球焊机 工作台 误差分析 |
| 压电驱动微位移工作台动态特性分析 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 05, 页码: 440-443
作者: 贾宏光; 吴一辉; 于振雷; 王立鼎
caj(71Kb) | 收藏 | 浏览/下载：675/66 | 提交时间：2013/03/12
压电陶瓷 微位移工作台 动态特性分析 |
| 一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台 期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: S1, 页码: 388
作者: 张飞虎; 张春河; 王平; 韩荣久
caj(39Kb) | 收藏 | 浏览/下载：521/103 | 提交时间：2013/03/12
微进给:5273 镜面磨削:5245 超精密加工:4725 工作台:2814 超精密磨削:2561 超精密车削:1406 微量进给机构:1343 工程陶瓷:1252 金刚石车刀:1126 位置分辨率:1111 |
| 纳米X－Y工作台固有频率特性的研究 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 06, 页码: 50-54
作者: 吴一辉; 杨洪波
caj(169Kb) | 收藏 | 浏览/下载：635/55 | 提交时间：2013/03/11
纳米定位 X—y工作台 固有频率特性 |
