Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
纳米X-Y工作台固有频率特性的研究 | |
吴一辉; 杨洪波 | |
1995-12-30 | |
发表期刊 | 光学精密工程 |
期号 | 06页码:50-54 |
关键词 | 纳米定位 X—y工作台 固有频率特性 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30412 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉,杨洪波. 纳米X-Y工作台固有频率特性的研究[J]. 光学精密工程,1995(06):50-54. |
APA | 吴一辉,&杨洪波.(1995).纳米X-Y工作台固有频率特性的研究.光学精密工程(06),50-54. |
MLA | 吴一辉,et al."纳米X-Y工作台固有频率特性的研究".光学精密工程 .06(1995):50-54. |
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