CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
纳米X-Y工作台固有频率特性的研究
吴一辉; 杨洪波
1995-12-30
发表期刊光学精密工程
期号06页码:50-54
关键词纳米定位 X—y工作台 固有频率特性
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30412
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
吴一辉,杨洪波. 纳米X-Y工作台固有频率特性的研究[J]. 光学精密工程,1995(06):50-54.
APA 吴一辉,&杨洪波.(1995).纳米X-Y工作台固有频率特性的研究.光学精密工程(06),50-54.
MLA 吴一辉,et al."纳米X-Y工作台固有频率特性的研究".光学精密工程 .06(1995):50-54.
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