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拼接式望远镜主镜主动支撑技术综述 期刊论文
激光与光电子学进展, 2021, 卷号: 58, 期号: 03, 页码: 80-91
作者:  吴松航;  董吉洪;  徐抒岩;  许博谦
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一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究 期刊论文
现代电子技术, 2020, 卷号: 43, 期号: 02, 页码: 14-16+19
作者:  王学亮;  彭吉;  徐立松;  李朋志;  陈雪;  郑楠;  李佩玥
浏览  |  Adobe PDF(1726Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：192/52  |  提交时间：2021/07/06
压电陶瓷  步进式驱动器  定位控制  负载实验  多项式拟合  数据分析  
Ultra-precision grinding and polishing method of large-scale Al2O3 ceramic guides 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 3, 页码: 663-669
作者:  J.Liu;  L.-M.Cai;  X.-K.Cheng;  G.-G.Gu;  Y.Yu
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Polishing,Alumina,Aluminum oxide,Ceramic materials,Efficiency,Grinding (machining),Grinding mills  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：143/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/90  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
Adobe PDF(791Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：340/108  |  提交时间：2017/09/11
激光聚焦小型三自由度并联机构分析及控制策略研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  王施相
Adobe PDF(2180Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：185/3  |  提交时间：2016/04/11
激光聚焦  3-prs并联机构  运动学  动力学  控制策略  联合仿真  
压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵广义
Adobe PDF(1437Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：515/2  |  提交时间：2015/05/03
压电陶瓷  两维摆镜  动态迟滞模型  前馈pid 控制