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| 大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 姚雪峰
 caj(23894Kb) |  收藏 | 浏览/下载：301/0 | 提交时间：2019/09/23
光栅刻划机 机刻光栅 研磨加工 传动精度测量 宏微双重驱动 |
| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 糜小涛
caj(5660Kb) | 收藏 | 浏览/下载：208/0 | 提交时间：2019/09/23
衍射光栅 光栅刻划机 微定位系统 控制器设计 刻线误差 测量系统 余弦误差 阿贝误差 大气折射率 衍射波前 基底面形误差 镀膜均匀性 |
| 揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者: 唐玉国; 巴音贺希格; 竺长安; 金一
收藏 | 浏览/下载：281/0 | 提交时间：2019/09/17
大面积光栅 刻划光栅 光栅刻划机 超精密制造 |
| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华
 caj(3271Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1005/141 | 提交时间：2018/04/09
衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
caj(1313Kb) | 收藏 | 浏览/下载：394/176 | 提交时间：2016/07/06
光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 745-752
作者: 糜小涛; 于宏柱; 于海利; 姚雪峰; 宋楠; 冯树龙; 齐向东
caj(388Kb) | 收藏 | 浏览/下载：397/111 | 提交时间：2016/07/06
光栅刻划机 衍射光纤 双拉杆结构 单拉杆结构 石英导轨 |
| 光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者: 张成山; 孟庆孔
caj(242Kb) | 收藏 | 浏览/下载：308/75 | 提交时间：2015/04/17
光电式光栅刻划机 衍射光栅干涉仪 莫尔条纹 |
| 光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 506-510
作者: 冯树龙
caj(255Kb) | 收藏 | 浏览/下载：387/123 | 提交时间：2015/04/17
光栅刻划机 滚柱导轨 爬行 |
| 光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 495-499
作者: 姚雪峰; 糜小涛; 宋楠
caj(806Kb) | 收藏 | 浏览/下载：635/111 | 提交时间：2015/04/17
光栅刻划机 刚度 有限元分析 模态 |
| 光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者: 李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格
caj(724Kb) | 收藏 | 浏览/下载：410/126 | 提交时间：2015/04/17
光栅 光栅刻划机 宏微两级工作台 Bp神经网络 Pid控制 自适应控制 |
