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光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验
冯树龙
2014-10-15
发表期刊长春工业大学学报(自然科学版)
期号5页码:506-510
摘要选择刻划机工作台导轨结构时主要考虑爬行以及超精密研磨。试验结果表明,滚柱导轨在不同刻划方式下不存在爬行现象,又便于进行超精密研磨加工以保证直线性精度,成为光栅刻划机工作台导轨的首选结构形式。
关键词光栅刻划机 滚柱导轨 爬行
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43580
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
冯树龙. 光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(5):506-510.
APA 冯树龙.(2014).光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验.长春工业大学学报(自然科学版)(5),506-510.
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