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二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
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二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
Overview of 2D grating displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:  Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
浏览  |  Adobe PDF(6951Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：76/24  |  提交时间：2021/07/06
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者:  唐玉国;  巴音贺希格;  竺长安;  金一
收藏  |  浏览/下载：218/0  |  提交时间：2019/09/17
大面积光栅  刻划光栅  光栅刻划机  超精密制造  
Design of mirror subassembly in CO2sounder 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 3
作者:  Wei, Y.-F.;  C. Lin;  H. Xue and Y.-Q. Zheng
浏览  |  Adobe PDF(648Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/101  |  提交时间：2018/06/13
Design and analysis of diamond carrier aerostatic guideway in large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 4
作者:  Song, N.;  S. Feng;  H. Yu;  X. Qi;  Bayanheshig and Y. Tang
浏览  |  Adobe PDF(1451Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/67  |  提交时间：2016/08/24
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：482/2  |  提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom  
亚波长介质光栅设计简化模式法的修正及相关研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  王斌
Adobe PDF(3606Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/2  |  提交时间：2014/08/21
光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者:  李晓天;  于海利;  齐向东;  朱继伟;  于宏柱;  巴音贺希格
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/104  |  提交时间：2015/04/17
光栅  光栅刻划机  宏微两级工作台  Bp神经网络  Pid控制  自适应控制  
圆弧刀研磨力变化模型分析与控制技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  金志樑
Adobe PDF(1894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/1  |  提交时间：2014/03/15
双圆锥形圆弧刀  系统辨识  Pid控制  Dsp  Labview