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| 自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 04, 页码: 787-794
作者: 赵晨行; 卢启鹏 ; 宋源; 龚学鹏; 王依; 徐彬豪
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面形误差 无应力夹持 有限元分析 重力补偿 自由电子激光光束线 |
| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者: 陈家华; 龚学鹏; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依
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同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
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极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者: 周祥燕; 张超; 匡尚奇; 龚学鹏; 杨海贵
caj(2225Kb) | 收藏 | 浏览/下载：425/150 | 提交时间：2018/04/09
薄膜 薄膜表征 量子衍生遗传算法 掠入射x射线反射 |
| 基于扩展有限元法的工程机械焊接结构断裂分析 期刊论文
机电产品开发与创新, 2016, 期号: 4
作者: 王依; 卢启鹏; 龚学鹏
caj(165Kb) | 收藏 | 浏览/下载：326/142 | 提交时间：2017/09/17
焊接结构 断裂 疲劳 扩展有限元法 |
| 极高分辨变包含角平面光栅单色器关键技术及检测方法研究 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 2, 页码: 284-297
作者: 卢启鹏; 宋源; 龚学鹏; 马磊
caj(567Kb) | 收藏 | 浏览/下载：364/122 | 提交时间：2017/09/17
极高分辨 变包含角 软x射线 同步辐射 平面光栅单色器 |
| X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 10, 页码: 2347-2354
作者: 龚学鹏; 卢启鹏
caj(1505Kb) | 收藏 | 浏览/下载：364/142 | 提交时间：2016/07/06
X射线干涉光刻 热分析 数值模拟 同步辐射 |
| X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者: 龚学鹏; 卢启鹏; 彭忠琦
caj(308Kb) | 收藏 | 浏览/下载：318/122 | 提交时间：2015/04/17
上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 |
| 前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 105-111
作者: 宋源; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏
caj(601Kb) | 收藏 | 浏览/下载：492/128 | 提交时间：2015/04/17
变包含角平面光栅单色器 热负载 聚焦常数 分辨率 斜率误差 |
| 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者: 鹿国庆; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏
caj(416Kb) | 收藏 | 浏览/下载：583/191 | 提交时间：2014/03/07
光学器件 极紫外光刻 碳氢化合物污染模型 多层膜光学元件 二次电子 |
