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Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:  Wang, Y.;  Q. Lu and Y. Gao
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Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Song, Y.;  Q.-P. Lu;  X.-P. Gong;  Y. Wang and Z.-Q. Peng
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极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  鹿国庆
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极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
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光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 10
作者:  尼启良;  刘世界;  陈波
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X射线波段多层膜光学元件 期刊论文
自然科学进展, 1991, 期号: 06, 页码: 555-557
作者:  曹健林;  缪同群;  马月英;  朱秀芳;  陈波;  钱莉民;  李福田;  陈星旦
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X射线  多层膜技术  光学元件