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X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 10, 页码: 2347-2354
作者:  龚学鹏;  卢启鹏
caj(1505Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/102  |  提交时间：2016/07/06
X射线干涉光刻  热分析  数值模拟  同步辐射  
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/101  |  提交时间：2015/04/17
上海同步辐射光源  X射线干涉光刻  偏转镜  结构设计  精度测试  
同步辐射光束线水平偏转压弯机构关键技术研究及性能测试 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  高飒飒
Adobe PDF(5260Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：353/1  |  提交时间：2014/08/21
变包含角平面光栅单色器的光谱分辨率影响因素及相关检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  宋源
Adobe PDF(2262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/2  |  提交时间：2014/03/15
同步辐射  变包含角平面光栅  单色器  分辨率  聚焦常数  热分析  机械精度检测  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/127  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(977Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：627/119  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  功率密度分布  热平衡  面形误差  有限元分析