Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 | |
龚学鹏 ; 卢启鹏; 彭忠琦
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| 2014-08-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 期号 | 8页码:2142-2150 |
| 摘要 | 介绍了上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线的基本情况。为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制。分析了偏转镜系统的功能,设计了偏转镜的调节机构、切换机构和冷却结构。论述了调节机构的关键运动,即镜箱外直线运动转化为超高真空内旋转运动的实现过程;讨论了切换机构重复精度与承载能力之间的关系,并完成了精密丝杆的校核。采用镜子支撑方式和冷却方式集成的方案设计了冷却结构,并通过数值模拟分析了冷却结构和冷却效果。模拟结果表明镜子子午面形误差和弧矢面形误差分别约为6.5rad和7rad。应用激光干涉仪和光电自准直仪对调节机构和切换机构进行了测试,结果表明:调节机构的线性分辨力可达0.2μm,切换机构的重复精度满足设计要求。 |
| 关键词 | 上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42989 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 龚学鹏,卢启鹏,彭忠琦. X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试[J]. 光学精密工程,2014(8):2142-2150. |
| APA | 龚学鹏,卢启鹏,&彭忠琦.(2014).X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试.光学精密工程(8),2142-2150. |
| MLA | 龚学鹏,et al."X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试".光学精密工程 .8(2014):2142-2150. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测（308KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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