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三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿 期刊论文
光学精密工程, 2023, 卷号: 31, 期号: 20, 页码: 2964-2974
作者:  司马津甫;  赖磊捷;  李朋志;  方宇;  朱利民
浏览  |  Adobe PDF(3230Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：17/5  |  提交时间：2024/08/16
全簧片式空间大行程并联柔性微定位平台及其轨迹控制 期刊论文
光学精密工程, 2023, 卷号: 31, 期号: 18, 页码: 2675-2686
作者:  陈云壮;  赖磊捷;  李朋志;  朱利民
浏览  |  Adobe PDF(1557Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：13/5  |  提交时间：2024/08/16
电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者:  张旭;  赖磊捷;  李朋志;  朱利民
浏览  |  Adobe PDF(1955Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：226/66  |  提交时间：2022/06/29
一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究 期刊论文
现代电子技术, 2020, 卷号: 43, 期号: 02, 页码: 14-16+19
作者:  王学亮;  彭吉;  徐立松;  李朋志;  陈雪;  郑楠;  李佩玥
浏览  |  Adobe PDF(1726Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：395/97  |  提交时间：2021/07/06
压电陶瓷  步进式驱动器  定位控制  负载实验  多项式拟合  数据分析  
压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：256/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：722/158  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/92  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/168  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥;  杨怀江
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/119  |  提交时间：2016/07/06
电容传感器  位移传感器  标定  线性度  不确定度  光刻投影物镜  
电阻应变式位移传感器电路设计与实现 期刊论文
国外电子测量技术, 2015, 期号: 06, 页码: 58-61
作者:  葛川;  李朋志;  徐立松;  李佩玥
caj(1203Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：449/178  |  提交时间：2016/07/06
应变  位移传感器  压电陶瓷