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电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者:  张旭;  赖磊捷;  李朋志;  朱利民
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电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥;  杨怀江
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:300/95  |  提交时间:2016/07/06
电容传感器  位移传感器  标定  线性度  不确定度  光刻投影物镜  
压电驱动器的开闭环迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 2, 页码: 414-419
作者:  李朋志;  闫丰;  葛川;  李佩玥;  隋永新;  杨怀江
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压电驱动器  Pzt  开闭环  迭代学习控制  迟滞  
基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 394-399
作者:  李朋志;  葛川;  苏志德;  闫丰;  隋永新;  杨怀江
caj(1254Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:345/97  |  提交时间:2014/03/07
压电陶瓷驱动器(Pzt)  迟滞  动态模糊系统  前馈  轨迹跟踪