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电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者:  张旭;  赖磊捷;  李朋志;  朱利民
Adobe PDF(1955Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：151/45  |  提交时间：2022/06/29
一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究 期刊论文
现代电子技术, 2020, 卷号: 43, 期号: 02, 页码: 14-16+19
作者:  王学亮;  彭吉;  徐立松;  李朋志;  陈雪;  郑楠;  李佩玥
Adobe PDF(1726Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：190/51  |  提交时间：2021/07/06
压电陶瓷  步进式驱动器  定位控制  负载实验  多项式拟合  数据分析  
压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：151/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿