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浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
收藏  |  浏览/下载：256/0  |  提交时间：2019/09/17
浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
浏览  |  Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/170  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/161  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:  贺健康;  张立超;  才玺坤;  时光;  武潇野;  梅林
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/107  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性  
基于指数法评估激光量热仪吸收测量不确定度 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 2, 页码: 278-285
作者:  谷勇强;  张立超;  武潇野;  梅林;  时光
caj(645Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/117  |  提交时间：2017/09/17
测量技术  激光量热仪  指数法  吸收测量  不确定度  温度漂移  熔石英  
深紫外光刻光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181
作者:  张立超;  才玺坤;  时光
caj(474Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/164  |  提交时间：2016/07/06
深紫外光刻  超精密光学  膜系设计  光学性能保障  环境适应性  
热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 808-815
作者:  才玺坤;  张立超;  梅林;  时光
caj(414Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/87  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  应力  减反膜  
应用于高性能光学薄膜表征的光热光声检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 701-711
作者:  武潇野;  张立超;  时光
caj(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/113  |  提交时间：2015/04/17
光热方法  光声法  激光量热法  激光辐照  检测技术  
激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193
作者:  赵灵;  武潇野;  谷勇强;  时光;  梅林;  才玺坤;  张立超
caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/151  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  薄膜材料  193nm激光器  激光量热法  吸收系数  
离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜 期刊论文
激光技术, 2013, 期号: 05, 页码: 592-595
作者:  时光;  梅林;  高劲松;  张立超;  张玲花
caj(325Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：514/152  |  提交时间：2014/03/07
薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  深紫外