Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜 | |
时光 ; 梅林; 高劲松; 张立超; 张玲花
| |
| 2013-09-25 | |
| 发表期刊 | 激光技术
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| 期号 | 05页码:592-595 |
| 摘要 | 为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法镀制了单层LaF3薄膜。首先,利用光度法得出3种方法镀制LaF3薄膜在185nm～800nm范围内的折射率n和消光系数k。然后,采用原子力显微镜对薄膜表面粗糙度进行了测量。最后,薄膜的微结构使用X射线衍射仪进行了分析。结果表明,离子束溅射镀制的LaF3薄膜折射率最高、表面粗糙度最低,但吸收较大;电子束蒸发法虽然吸收最小,但是折射率偏低且表面粗糙度较高;热舟蒸发法镀制的LaF3薄膜无论折射率、消光系数还是表面粗糙度都处于3种方法中间位置。综合各项指标,热舟蒸发法最适合于沉积深紫外LaF3薄膜。 |
| 关键词 | 薄膜 Laf3 热蒸发 离子束溅射 深紫外 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38714 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 时光,梅林,高劲松,等. 离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜[J]. 激光技术,2013(05):592-595. |
| APA | 时光,梅林,高劲松,张立超,&张玲花.(2013).离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜.激光技术(05),592-595. |
| MLA | 时光,et al."离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜".激光技术 .05(2013):592-595. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 离子束溅射_热舟和电子束法制备深紫外La（325KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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