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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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大量程高性能光栅位移测量技术
期刊论文
计测技术, 2023, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 81-90
作者:
刘林
;
刘兆武
;
于宏柱
;
王玮
;
姜岩秀
;
姜珊
;
孙宇佳
;
金思宇
;
梁旭
;
巴音贺希格
;
李文昊
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提交时间:2024/08/16
基于衍射光栅的高精度干涉星敏感器的理论分析
期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1368-1377
作者:
张淑芬
;
姜珊
;
董磊
;
王建立
;
吴娜
;
李文昊
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提交时间:2022/06/29
基于灰度插值的条纹图像位移亚像素检测算法
期刊论文
光学学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 133-141
作者:
李舒航
;
高旭
;
刘兆武
;
胡文浩
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提交时间:2022/06/29
Algorithm for Sub-Pixel Detection of Fringe Image Displacement Based on Gray-Level Interpolation
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2021, 卷号: 41, 期号: 10
作者:
S. Li
;
X. Gao
;
Z. Liu and W. Hu
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提交时间:2022/06/13
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
张璐
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提交时间:2020/08/24
光刻物镜
光学检测
波像差
光栅横向剪切干涉仪
绝对检测
光栅精密位移测量技术发展综述
期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 741-752
作者:
高旭
;
李舒航
;
马庆林
;
陈伟
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提交时间:2020/08/24
位移测量
光栅
高精度测量
衍射干涉
Development of grating-based precise displacement measurement technology
期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 741-752
作者:
X.Gao
;
S.-H.Li
;
Q.-L.Ma
;
W.Chen
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提交时间:2020/08/24
Displacement measurement,Diffraction gratings,Machinery,Manufacture
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:
Zhang, Lu
;
Xiang, Yang
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提交时间:2019/09/17
Shearing
Aberrations
Errors
Interferometers
Measurement
Wavefronts
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:
Dong, Guanji
;
Tang, Feng
;
Wang, Xiangzhao
;
Feng, Peng
;
Guo, Fudong
;
Peng, Changzhe
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提交时间:2019/09/17
Interferometry
CCD cameras
Diffraction
Imaging systems
Measurement
Uncertainty analysis
成像系统倍率高精度测量技术研究
期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:
董冠极
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唐锋
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郭福东
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提交时间:2019/09/17
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倍率
Zernike多项式
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