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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：138/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者: 吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武; 王玮
caj(407Kb) | 收藏 | 浏览/下载：394/106 | 提交时间：2018/04/09
位移测量 光栅 衍射干涉 高精度 |
| 基于等离子体激发的氧化锌基深紫外发光器件研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 胡光冲
Adobe PDF(2856Kb) | 收藏 | 浏览/下载：386/1 | 提交时间：2015/05/03
Mgzno 深紫外 等离子体 Mocvd |
| 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人: 张海涛 ; 于杰; 马冬梅; 金春水
Adobe PDF(449Kb) | 收藏 | 浏览/下载：312/101 | 提交时间：2015/02/10 |
| 莫尔条纹光电信号自动补偿技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 高旭
Adobe PDF(2763Kb) | 收藏 | 浏览/下载：422/2 | 提交时间：2014/08/21 |
| 提高小型光电编码器分辨力和精度的方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 冯英翘
Adobe PDF(3139Kb) | 收藏 | 浏览/下载：279/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 光学精密透镜的光力学耦合分析与优化设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 刘永明
Adobe PDF(2728Kb) | 收藏 | 浏览/下载：369/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 小型绝对式光电编码器动态误差检测系统及方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 于海
Adobe PDF(3279Kb) | 收藏 | 浏览/下载：425/1 | 提交时间：2014/08/21 |
