Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光栅精密位移测量技术发展综述 | |
高旭 ; 李舒航; 马庆林; 陈伟
| |
| 2019 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 卷号 | 12期号:04页码:741-752 |
| 摘要 | 精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等优点,在精密位移测量领域占据重要位置。基于光栅的精密位移测量系统包括光学测量系统、信号接收、电子学细分及整体装调几部分。本文主要针对光学测量光路部分进行综述介绍。首先介绍了经典光栅干涉位移测量原理;其次,综述了基于光栅的精密位移测量系统的关键技术现状;再次,对比分析了几种最具有代表性的测量技术,总结其优缺点;最后,对基于光栅的精密位移测量技术进行展望,揭示其高精度、高分辨力、高鲁棒性、微型化、多维化、多技术融合的发展趋势。 |
| 关键词 | 位移测量 光栅 高精度测量 衍射干涉 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63598 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高旭,李舒航,马庆林,等. 光栅精密位移测量技术发展综述[J]. 中国光学,2019,12(04):741-752. |
| APA | 高旭,李舒航,马庆林,&陈伟.(2019).光栅精密位移测量技术发展综述.中国光学,12(04),741-752. |
| MLA | 高旭,et al."光栅精密位移测量技术发展综述".中国光学 12.04(2019):741-752. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光栅精密位移测量技术发展综述.caj（445KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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