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光栅精密位移测量技术发展综述 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 741-752
作者:  高旭;  李舒航;  马庆林;  陈伟
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：155/68  |  提交时间：2020/08/24
位移测量  光栅  高精度测量  衍射干涉