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| High-precision position control of a gene sequencer motion stage 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2455-2462 作者: Fu, Yun-Bo ; Guo, Tong-Jian
浏览  |   Adobe PDF(854Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:449/173  |  提交时间:2019/09/17 Controllers Computer control systems Equations of motion Frequency domain analysis Genes Permanent magnets Position control Synchronous motors |
| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan
浏览  |   Adobe PDF(3436Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:370/140  |  提交时间:2018/06/13 |
| 基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文 实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75 作者: 陈昊; 陈琦; 蒋贵德
caj(227Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:558/124  |  提交时间:2017/09/17 双频激光干涉仪 气浮导轨 精密定位 前馈控制 |
| Development of arc-edge tool lapping machine for grating ruling based on leverage load mode 期刊论文 Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2016, 卷号: 52, 期号: 9 作者: Jirigalantu; X. Li; K. Liu; S. Zhang; Bayanheshig; X. Qi and Y. Tang
Adobe PDF(745Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:390/107  |  提交时间:2017/09/11 |
| 基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 期刊论文 电子测量技术, 2015, 期号: 12, 页码: 89-91+95 作者: 姬琪 ; 王红园
caj(267Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:384/107  |  提交时间:2016/07/06 直线电机 气浮导轨 定位平台 闭环控制 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272 作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
caj(1313Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:376/166  |  提交时间:2016/07/06 光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| Design and analysis of diamond carrier aerostatic guideway in large diffraction grating ruling engine 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 4 作者: Song, N.; S. Feng; H. Yu; X. Qi; Bayanheshig and Y. Tang
Adobe PDF(1451Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:367/95  |  提交时间:2016/08/24 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:350/2  |  提交时间:2016/04/11 菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文 实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57 作者: 陈琦; 钟君
caj(165Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:371/128  |  提交时间:2015/04/17 压电陶瓷 纳米定位 气浮导轨 激光干涉仪 |
| 基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文 应用科技, 2014, 期号: 6 作者: 陈琦
Unknown(565Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:283/79  |  提交时间:2015/04/17 纳米定位 压电陶瓷 气浮导轨 电容微位移传感器 |