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| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan
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| 基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者: 陈昊; 陈琦; 蒋贵德
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双频激光干涉仪 气浮导轨 精密定位 前馈控制 |
| Development of arc-edge tool lapping machine for grating ruling based on leverage load mode 期刊论文
Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2016, 卷号: 52, 期号: 9
作者: Jirigalantu; X. Li; K. Liu; S. Zhang; Bayanheshig; X. Qi and Y. Tang
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| 基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 期刊论文
电子测量技术, 2015, 期号: 12, 页码: 89-91+95
作者: 姬琪 ; 王红园
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直线电机 气浮导轨 定位平台 闭环控制 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
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光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| Design and analysis of diamond carrier aerostatic guideway in large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 4
作者: Song, N.; S. Feng; H. Yu; X. Qi; Bayanheshig and Y. Tang
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| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 毛石磊
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菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者: 陈琦; 钟君
caj(165Kb) | 收藏 | 浏览/下载：324/113 | 提交时间：2015/04/17
压电陶瓷 纳米定位 气浮导轨 激光干涉仪 |
| 基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
作者: 陈琦
Unknown(565Kb) | 收藏 | 浏览/下载：244/69 | 提交时间：2015/04/17
纳米定位 压电陶瓷 气浮导轨 电容微位移传感器 |
| 圆弧刀研磨力变化模型分析与控制技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 金志樑
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双圆锥形圆弧刀 系统辨识 Pid控制 Dsp Labview |
