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基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 期刊论文
电子测量技术, 2015, 期号: 12, 页码: 89-91+95
作者:  姬琪;  王红园
caj(267Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/92  |  提交时间：2016/07/06
直线电机  气浮导轨  定位平台  闭环控制  
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/131  |  提交时间：2016/07/06
光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统  
Design and analysis of diamond carrier aerostatic guideway in large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 4
作者:  Song, N.;  S. Feng;  H. Yu;  X. Qi;  Bayanheshig and Y. Tang
Adobe PDF(1451Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：322/64  |  提交时间：2016/08/24
菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：293/2  |  提交时间：2016/04/11
菲索干涉仪  移相器  微位移  柔性铰链  压电陶瓷