Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 | |
姬琪 ; 王红园
| |
| 2015-12-15 | |
| 发表期刊 | 电子测量技术 |
| 期号 | 12页码:89-91+95 |
| 摘要 | 精密定位技术在产品精密加工、精密检测中发挥着重要作用。本文介绍了一种利用直线电机驱动气浮平台实现精密定位的方法,阐述了气浮平台工作原理及设计方案,推导了直线电机的控制模型,并利用新型驱动器实现了闭环控制。最后采用LenScan镜面定位仪对平台定位数据进行了比对,验证了定位平台定位的准确性。结果表明该平台结构可靠、系统运行稳定,X、Y方向精度均达到微米级,满足使用要求。现已应用在对半导体器件几何参量的测试中,效果良好。 |
| 关键词 | 直线电机 气浮导轨 定位平台 闭环控制 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53867 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姬琪,王红园. 基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现[J]. 电子测量技术,2015(12):89-91+95. |
| APA | 姬琪,&王红园.(2015).基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现.电子测量技术(12),89-91+95. |
| MLA | 姬琪,et al."基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现".电子测量技术 .12(2015):89-91+95. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台（267KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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