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| 大量程高性能光栅位移测量技术 期刊论文 计测技术, 2023, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 81-90 作者: 刘林; 刘兆武; 于宏柱; 王玮; 姜岩秀; 姜珊; 孙宇佳; 金思宇; 梁旭; 巴音贺希格; 李文昊
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| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
caj(4189Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:418/169  |  提交时间:2018/04/09 光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊
caj(798Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:353/122  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7 作者: Wang, W.; Bayanheshig; M. Pan; Y. Song and W. Li
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| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
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| Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1 作者: Liu, Z. ; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu
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| 大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071 作者: 陈琦
caj(653Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:341/107  |  提交时间:2017/09/17 扫描干涉光刻系统 高精度工作台 气体静压导轨 摩擦驱动 纳米级定位 |
| 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183 作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠
caj(1764Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:324/123  |  提交时间:2017/09/17 光栅 扫描干涉场曝光系统 光束对准 收敛性能 装调误差 |
| Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5 作者: Lu, Y.; X. Qi; H. Yu; X. Li; S. Zhang; S. Jiang and L. Yin
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| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5 作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin
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