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大量程高性能光栅位移测量技术 期刊论文
计测技术, 2023, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 81-90
作者:  刘林;  刘兆武;  于宏柱;  王玮;  姜岩秀;  姜珊;  孙宇佳;  金思宇;  梁旭;  巴音贺希格;  李文昊
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扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：418/169  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：353/122  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
浏览  |  Adobe PDF(993Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：301/101  |  提交时间：2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：310/108  |  提交时间：2018/06/13
Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
浏览  |  Adobe PDF(420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/115  |  提交时间：2018/06/13
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/107  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/123  |  提交时间：2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差  
Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  H. Yu;  X. Li;  S. Zhang;  S. Jiang and L. Yin
浏览  |  Adobe PDF(1613Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/124  |  提交时间：2017/09/11
Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  X. Mi;  S. Jiang;  H. Yu;  X. Li and L. Yin
浏览  |  Adobe PDF(590Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/95  |  提交时间：2017/09/11