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Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
浏览  |  Adobe PDF(985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：413/135  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  匡尚奇;  李硕;  杨海贵;  霍同林;  周洪军
收藏  |  浏览/下载：173/0  |  提交时间：2019/09/17
多层膜设计  极紫外  离散化设计  宽带多层膜  
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀
caj(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/121  |  提交时间：2018/04/09
薄膜光学  多层膜设计  改进型量子进化算法  宽带极紫外多层膜  
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:  Kuang, S.-Q.;  C. Zhang;  Y.-M. Wang;  X.-Y. Zhou and Y. Xie
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极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
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太阳极紫外成像光谱仪光学系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  刘壮
Adobe PDF(4507Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/2  |  提交时间：2014/08/21
极紫外多层膜光栅技术研究进展 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8
作者:  张立超
Adobe PDF(496Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：480/178  |  提交时间：2012/05/11
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备 期刊论文
光学学报, 2005, 期号: 10, 页码: 139-141
作者:  姚志华;  金春水;  杨雄;  张立超;  金伟华;  曹健林
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：464/83  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  宽带多层膜  评价函数  遗传算法  磁控溅射  
软X射线宽带多层膜设计与实验 期刊论文
科学通报, 1999, 期号: 09, 页码: 930-933
作者:  王占山;  柯常军;  马月英;  张铁强;  曹健林;  陈星旦
caj(33Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/70  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜  随机数  磁控溅射  反射率