Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外多层膜光栅技术研究进展 | |
张立超
| |
| 2011-08-20 | |
| 发表期刊 | 光机电信息
 |
| ISSN | 1007-1180 |
| 卷号 | 28期号:8 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3695 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张立超. 极紫外多层膜光栅技术研究进展[J]. 光机电信息,2011,28(8). |
| APA | 张立超.(2011).极紫外多层膜光栅技术研究进展.光机电信息,28(8). |
| MLA | 张立超."极紫外多层膜光栅技术研究进展".光机电信息 28.8(2011). |
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