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光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/139  |  提交时间：2017/09/17
光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差  
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/138  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散  
光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:  彭海峰;  于新峰;  秦硕
caj(1581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：396/121  |  提交时间：2017/09/17
测量  投影物镜  恒温水套  热像差  温度测试  
精密光学系统的热像差 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040
作者:  张巍;  于新峰;  周连生;  王学亮;  倪明阳;  彭海峰
caj(299Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/157  |  提交时间：2016/07/06
精密光学系统  激光辐照  投影光刻物镜  热像差  
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞
caj(1710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/96  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热  
基于小物镜系统的热像差影响因素分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 201-208
作者:  周连生;  于新峰;  吴志会;  芮大为;  张巍
caj(1405Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：400/106  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光机热集成分析  热像差  有限元法  Zernike多项式  折射率均匀性  热载  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/78  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜