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| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者: 陈家华; 龚学鹏 ; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依
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同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
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极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀
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薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 声光调Q CO_2激光器波长调谐理论分析与实验研究 期刊论文
红外与激光工程, 2017, 页码: 81-85
作者: 潘其坤; 陈飞; 石宁宁; 李殿军; 谢冀江; 何洋; 郭劲
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Co2激光器 波长调谐 闪耀光栅 声光调q |
| 并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者: 齐克奇; 向阳; 丁亚林; 方超; 周振平
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并联式 自解耦 微位移平台 嵌套式平行导向机构 有限元方法 |
| 高分辨率遥感图像SIFT和SURF算法匹配性能研究 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 331-339
作者: 齐冰洁; 刘金国; 张博研; 左洋; 吕世良
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遥感图像 特征匹配 Sift Surf 重叠度 |
| 非链式DF激光器非稳腔数值仿真与实验 期刊论文
红外与激光工程, 2017, 页码: 117-122
作者: 阮鹏; 潘其坤; 谢冀江; 刘春玲; 柴源
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Df激光器 非稳腔 光强分布 傅里叶算法 |
| 基于球面反射温阑的红外探测器变f数设计 期刊论文
物理学报, 2017, 页码: 80-90
作者: 常松涛; 田棋杰; 何锋赟; 余毅; 李周
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制冷型红外探测器 F数 球面反射温阑 杂散辐射 |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者: 王依; 卢启鹏; 高云国
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薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
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全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
