Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 | |
齐克奇 ; 向阳; 丁亚林; 方超; 周振平
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| 2017-07-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 页码 | 1874-1881 |
| 摘要 | 针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题,本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台。该平台采用了4个对称布置的嵌套式平行导向机构,使得平台具有刚度对称和自解耦等特点。本文还对嵌套式平行导向机构的工作原理进行了分析。通过有限元方法仿真分析了微位移平台在不同受力状态下的变形情况,并对其进行了模态分析。经实验测量,证实了该平台具有自解耦功能,并得出了微位移平台的实际行程,且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度。 |
| 关键词 | 并联式 自解耦 微位移平台 嵌套式平行导向机构 有限元方法 |
| DOI | 39F25D70002DA18B11C170FD99A89842 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58526 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 齐克奇,向阳,丁亚林,等. 并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量[J]. 光学精密工程,2017:1874-1881. |
| APA | 齐克奇,向阳,丁亚林,方超,&周振平.(2017).并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量.光学精密工程,1874-1881. |
| MLA | 齐克奇,et al."并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量".光学精密工程 (2017):1874-1881. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量（489KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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