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并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者:  齐克奇;  向阳;  丁亚林;  方超;  周振平
caj(489Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/120  |  提交时间：2018/04/09
并联式  自解耦  微位移平台  嵌套式平行导向机构  有限元方法  
Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7
作者:  Qi, K.-Q.;  Y. Xiang;  Y.-L. Ding;  C. Fang and Z.-P. Zhou
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光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 46-48+45
作者:  齐克奇
caj(2025Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：502/105  |  提交时间：2013/03/11
光刻物镜波像差检测平台  针孔定位  自解耦  有限元方法