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| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者: 陈家华; 龚学鹏 ; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依
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同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
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极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀
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薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者: 齐克奇; 向阳; 丁亚林; 方超; 周振平
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并联式 自解耦 微位移平台 嵌套式平行导向机构 有限元方法 |
| 用于光学遥感器耐受卫星平台微振动环境地面测试的六自由度平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2200-2207
作者: 顾营迎; 霍琦; 李昂; 李大为; 徐振邦; 李义; 吴清文
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空间光学遥感器 空间微振动环境 六自由度平台 振动测试 地面测试 |
| 移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 2, 页码: 318-324
作者: 宋莹; 巴音贺希格; 齐向东; 张宁; 唐玉国
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全息光栅 曝光 莫尔条纹 相位锁定 声光调制器 |
| FY_3A紫外臭氧垂直探测仪数据预处理及验证 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 1086-1091
作者: 王淑荣; 汪龙祺; 李福田; 黄煜; 阚珊珊; 刘海波
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| 模型参考自适应滑模控制方法在前向像移补偿中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2007, 期号: 6
作者: 刘岩; 李友一; 陈占军; 葛文奇
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自适应控制 滑模控制 像移补偿 衰减控制趋近律 不确定时变干扰 |
| 厚硅片的高速激光切片研究 期刊论文
光学精密工程, 2006, 期号: 5
作者: 崔建丰; 赵晶; 樊仲维; 赵存华; 张晶; 牛岗; 石朝晖; 裴博; 张国新; 薛岩; 毕勇; 亓岩
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激光技术 全固体激光器 声光调q 激光切片 硅片 |
| 用有限元方法计算X光源场发射阴极电流 期刊论文
光学精密工程, 2004, 期号: 02, 页码: 221-225
作者: 解滨; 陈波; 韩邦诚; 尼启良; 巩岩
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场发射阴极 有限元 Fowlernordheim函数 Spindt型阴极 |
