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| 支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究 期刊论文
江苏科技信息, 2017, 页码: 35-37
作者: 缑旭; 张永凯 ; 彭石军; 田伟
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刚度 位移测量 噪声 激光干涉 移相器 |
| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华
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衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan
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| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
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| Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者: Liu, Z.; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu
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| MOPA结构脉冲单频激光器时间相干性的初步实验 期刊论文
光电工程, 2016, 期号: 4, 页码: 78-83
作者: 董磊; 刘欣悦; 陈浩
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脉冲激光器 单频 Mopa结构 时间相干性 条纹对比度 |
| Angle error investigation in laser tracker testing large aspheric mirrors 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 11
作者: Liu, L.; X. Chen; L. Xiong; F. Zhang and D. Xue
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| Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者: Chen, Q.
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| 光栅-平面镜型可调式空间外差光谱技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 李涛涛
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空间外差光谱技术 宽波段 傅里叶变换 干涉 光栅色散 |
| 大型望远镜四通形位误差检测方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 刘晓宇
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大口径望远镜 四通 形位误差 激光跟踪仪 自准直测量 |
