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支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究 期刊论文
江苏科技信息, 2017, 页码: 35-37
作者:  缑旭;  张永凯;  彭石军;  田伟
caj(277Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：234/106  |  提交时间：2018/04/09
刚度  位移测量  噪声  激光干涉  移相器  
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：589/122  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
Adobe PDF(3436Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：347/121  |  提交时间：2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：285/90  |  提交时间：2018/06/13
Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
浏览  |  Adobe PDF(420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/91  |  提交时间：2018/06/13
MOPA结构脉冲单频激光器时间相干性的初步实验 期刊论文
光电工程, 2016, 期号: 4, 页码: 78-83
作者:  董磊;  刘欣悦;  陈浩
caj(329Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/109  |  提交时间：2017/09/17
脉冲激光器  单频  Mopa结构  时间相干性  条纹对比度  
Angle error investigation in laser tracker testing large aspheric mirrors 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 11
作者:  Liu, L.;  X. Chen;  L. Xiong;  F. Zhang and D. Xue
Adobe PDF(567Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/96  |  提交时间：2017/09/11
Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
Adobe PDF(791Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/110  |  提交时间：2017/09/11
采用MOPA结构的光学外差干涉激光器 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 2, 页码: 345-349
作者:  董磊;  刘欣悦;  张景旭;  于树海;  王国聪
caj(361Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：276/94  |  提交时间：2015/04/17
光学外差干涉  主振功放  傅里叶望远镜  相干性  频率漂移  
Yaw angle correction of grating line based on single piezoelectric actuator 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  Li X.-T.;  Qi X.-D.;  Yu H.-L.;  Gao J.-X.;  Feng S.-L.;  Bayanheshig
Adobe PDF(1572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：306/81  |  提交时间：2015/04/24