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Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:  赵永蓬;  徐强;  肖德龙;  丁宁;  谢耀;  李琦;  王骐
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极紫外光刻光源  毛细管放电  磁流体力学  Xe等离子体  
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
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光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2648-2655
作者:  郭抗;  巩岩
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光刻物镜  光学元件  调节机构  并联机构  一体化结构  6-pss  
离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜 期刊论文
激光技术, 2013, 期号: 05, 页码: 592-595
作者:  时光;  梅林;  高劲松;  张立超;  张玲花
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薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  深紫外  
基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
作者:  谭鑫;  沈晨;  吴娜;  张方程;  巴音贺希格
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凹面光栅  闪耀光栅  分区法  衍射效率  离子束刻蚀  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
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光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2036-2040
作者:  谢耀;  赵永蓬;  王骐
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毛细管  软x射线激光  Xrd  Rowland谱仪  类氖氩  
基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
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投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式  
具有低空气隙敏感度的雪花单元频率选择表面 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 1949-1956
作者:  王岩松;  高劲松;  陈新;  赵晶丽
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频率选择表面(Fss)  隐身雷达罩  空气隙  雪花单元  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
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X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析