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6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2648-2655
作者:  郭抗;  巩岩
caj(587Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：463/83  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  光学元件  调节机构  并联机构  一体化结构  6-pss  
基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
作者:  谭鑫;  沈晨;  吴娜;  张方程;  巴音贺希格
caj(754Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：487/136  |  提交时间：2014/03/07
凹面光栅  闪耀光栅  分区法  衍射效率  离子束刻蚀  
基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
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投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式  
具有低空气隙敏感度的雪花单元频率选择表面 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 1949-1956
作者:  王岩松;  高劲松;  陈新;  赵晶丽
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频率选择表面(Fss)  隐身雷达罩  空气隙  雪花单元  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
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X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:  赵磊;  巩岩;  赵阳
caj(1756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/125  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  柔性铰链  微动调整机构  系统波像差  
大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 01, 页码: 108-114
作者:  秦硕;  巩岩;  袁文全;  杨怀江
caj(2080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：412/86  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  温度控制  串级控制  大时滞  模型预测  前馈补偿