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Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:  赵永蓬;  徐强;  肖德龙;  丁宁;  谢耀;  李琦;  王骐
caj(356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：621/150  |  提交时间：2014/03/07
极紫外光刻光源  毛细管放电  磁流体力学  Xe等离子体  
Time behavior and optimum conditions for the Xe gas extreme ultraviolet source 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2013, 卷号: 62, 期号: 24
作者:  Zhao Y. P.;  Xu Q.;  Xiao D. L.;  Ding N.;  Xie Y.;  Li Q.;  Wang Q.
Adobe PDF(494Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/88  |  提交时间：2014/05/14