Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 | |
杨旺; 黄玮 ; 许伟才; 尚红波
| |
| 2013-09-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 09页码:235-239 |
| 摘要 | 研究了光学表面中频误差对杂散光的影响规律,提出使用功率谱密度函数描述表面中频误差,并通过该描述方法进行杂散光分析;同时利用等效光瞳空间频率对表面中频误差进行公差分析。利用以上方法,对工作波长为193nm、数值孔径为0.75的光刻物镜进行元件表面中频公差分析,当要求在2～10μm范围内的杂散光强度占比小于0.5%时,中低频等效光瞳空间频率界限为16,中高频等效光瞳空间频率界限为78。当元件表面功率谱曲线指数取1.5时,功率谱密度系数小于0.06的元件表面满足杂散光要求。结果表明该方法可以有效分析光学系统杂散光和元件表面中频公差。 |
| 关键词 | 光学设计 杂散光 功率谱密度 公差分析 光刻物镜 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39026 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨旺,黄玮,许伟才,等. 光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析[J]. 光学学报,2013(09):235-239. |
| APA | 杨旺,黄玮,许伟才,&尚红波.(2013).光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析.光学学报(09),235-239. |
| MLA | 杨旺,et al."光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析".光学学报 .09(2013):235-239. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响（1531KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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