| Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 |
| 赵永蓬; 徐强; 肖德龙; 丁宁; 谢耀 ; 李琦; 王骐
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| 2013-12-23
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| 发表期刊 | 物理学报
(IF:0.732[JCR-2019],0.543[5-Year]) |
| 期号 | 24页码:219-225 |
| 摘要 | 理论和实验上研究了Xe介质毛细管放电极紫外光源等离子体时间特性和最佳条件.从理论上建立了Xe介质一维辐射磁流体力学模型,模拟了不同气压和电流条件下等离子体压缩和辐射特性;实验上测量了放电电流30 kA时不同气压条件下13.5 nm(2%带宽)动态特性.理论和实验结果表明:不同放电电流条件下,存在最佳气压值,最佳气压随着电流的增加而增加;同时,电流增加时,13.5 nm(2%带宽)辐射光强峰值时刻减小. |
| 关键词 | 极紫外光刻光源
毛细管放电
磁流体力学
Xe等离子体
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| 收录类别 | CNKI
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| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38713
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| 专题 | 中科院长春光机所知识产出
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
赵永蓬,徐强,肖德龙,等. Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究[J]. 物理学报,2013(24):219-225.
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| APA |
赵永蓬.,徐强.,肖德龙.,丁宁.,谢耀.,...&王骐.(2013).Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究.物理学报(24),219-225.
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| MLA |
赵永蓬,et al."Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究".物理学报 .24(2013):219-225.
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文件名：
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Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究.caj
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格式：
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caj
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