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大视场手持式免散瞳眼底照相机光学设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 246-253
作者:  王晓恒;  薛庆生
caj(1707Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:321/106  |  提交时间:2018/04/09
光学设计  眼底照相机  免散瞳  照明系统  成像系统  
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/88  |  提交时间:2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
大视场免散瞳手持式眼底照相机光学设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 1-13
作者:  王晓恒;  薛庆生
caj(1138Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:302/77  |  提交时间:2018/04/09
光学设计  眼底照相机  免散瞳  照明系统  成像系统  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:317/101  |  提交时间:2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦