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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知... [62]
作者
佟存柱 [1]
秦莉 [1]
文献类型
期刊论文 [53]
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专利 [1]
发表日期
2022 [1]
2020 [2]
2018 [1]
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大口径望远镜镜面视宁度检测方法综述
期刊论文
红外与激光工程, 2022, 页码: 17
作者:
朱嘉康
;
安其昌
;
杨飞
Adobe PDF(1243Kb)
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浏览/下载:88/40
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提交时间:2023/05/18
飞秒激光刻写低温度灵敏度的细芯长周期光栅
期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 04, 页码: 737-744
作者:
明昕宇
;
国旗
;
薛兆康
;
潘学鹏
;
陈超
;
于永森
Adobe PDF(2772Kb)
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浏览/下载:145/55
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提交时间:2021/07/06
细芯光纤
飞秒激光直写
光纤传感
长周期光栅
A femtosecond laser-inscribed fine-core long-period grating with low temperature sensitivity
期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 737-744
作者:
X.-y. Ming,Q. Guo,Z.-k. Xue,X.-p. Pan,C. Chen and Y.-s. Yu
Adobe PDF(5819Kb)
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浏览/下载:136/50
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提交时间:2021/07/06
Effect and compensate of grating curvature radius error in Seya-Namioka monochromator
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 623-629
作者:
Meng, Zhu
;
Tan, Xin
;
Bayanheshig
;
Wang, Wei
;
Liu, Zhao-Wu
;
Zhao, Xu-Long
Adobe PDF(2762Kb)
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浏览/下载:299/87
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提交时间:2019/09/17
Error compensation
Monochromators
Ray tracing
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展
期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:
张德福
;
李显凌
;
芮大为
;
李朋志
;
东立剑
;
张建国
caj(2036Kb)
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浏览/下载:528/128
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提交时间:2018/04/09
集成电路
光刻
投影物镜
波像差
调节机构
主动光学
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者:
宋莹
;
赵旭龙
;
姜岩秀
;
巴音贺希格
;
齐向东
caj(373Kb)
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浏览/下载:415/120
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提交时间:2018/04/09
全息
全息光栅
干涉条纹锁定
分束光栅
叠栅条纹
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:
王玮
;
姜珊
;
宋莹
;
巴音贺希格
caj(4189Kb)
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浏览/下载:375/137
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提交时间:2018/04/09
光栅
扫描干涉场曝光系统
高斯光束
光斑尺寸
光路设计
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制
期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:
王玮
;
巴音贺希格
;
潘明忠
;
宋莹
;
李文昊
caj(798Kb)
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浏览/下载:315/101
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提交时间:2018/04/09
光学设计
光栅
扫描干涉场曝光
光束对准
曝光对比度
位置解耦
角度解耦
Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者:
Song, Y.
;
X. Zhao
;
Y. Jiang
;
Bayanheshig and X. Qi
Adobe PDF(528Kb)
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浏览/下载:307/93
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提交时间:2018/06/13
Auto exposure control for high frame rate camera using image histogram feature function
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 4
作者:
Ma, Z.-L.
;
H.-B. Gao
;
Y. Yu and L.-H. Cai
Adobe PDF(689Kb)
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浏览/下载:416/161
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提交时间:2018/06/13