Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 高精度曲率半径测量研究 | |
彭石军 ; 苗二龙; 史振广; 陈华; 隋永新; 杨怀江
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| 2014-01-10 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| 期号 | 1页码:105-111 |
| 摘要 | 由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析了影响曲率半径检测精度的主要因素,并给出了在曲率半径测量过程中减小测量误差的方法以及相应的补偿方式。基于此分析,在高精度实验室中采用菲佐干涉仪结合高精度测长干涉仪的干涉测量方式,分别对典型的凸球面和凹球面光学元件进行了曲率半径检测。实验结果表明:通过环境补偿和提高对准精度的方法,曲率半径检测的复现性优于0.2μm,实际测得的相对误差分别为0.67×10~(-6)(2σ)和0.60×10~(-6)(2σ),实现了高精度曲率半径测量。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 测量 曲率半径 轴向对准误差 环境补偿 菲佐干涉仪 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42677 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭石军,苗二龙,史振广,等. 高精度曲率半径测量研究[J]. 激光与光电子学进展,2014(1):105-111. |
| APA | 彭石军,苗二龙,史振广,陈华,隋永新,&杨怀江.(2014).高精度曲率半径测量研究.激光与光电子学进展(1),105-111. |
| MLA | 彭石军,et al."高精度曲率半径测量研究".激光与光电子学进展 .1(2014):105-111. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 高精度曲率半径测量研究.caj（2325KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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