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二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/98  |  提交时间：2021/07/06
二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究 期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者:  张宝庆;  张绍泽;  曹聪;  高劲松
浏览  |  Adobe PDF(1587Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：122/41  |  提交时间：2021/07/06
机刻光栅  复合基底  残余应力  薄膜  压痕  模拟  
微型光纤光谱仪的光谱线性响应测试研究 期刊论文
中国测试, 2020, 卷号: 46, 期号: 04, 页码: 130-135
作者:  崔继承;  朱继伟;  杨晋;  马婷婷;  崔弘;  郭雪强
浏览  |  Adobe PDF(1767Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：201/52  |  提交时间：2021/07/06
光谱  光谱仪  线阵CCD  切尼尔-特纳结构  
Overview of 2D grating displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:  Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
浏览  |  Adobe PDF(6951Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：77/24  |  提交时间：2021/07/06
揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者:  唐玉国;  巴音贺希格;  竺长安;  金一
收藏  |  浏览/下载：225/0  |  提交时间：2019/09/17
大面积光栅  刻划光栅  光栅刻划机  超精密制造  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
浏览  |  Adobe PDF(1093Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：254/121  |  提交时间：2019/09/17
Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching  
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：561/120  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
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Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：275/83  |  提交时间：2018/06/13
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:  Liu, Z.-W.;  W.-H. Li;  J.-K. Wang;  S. Jiang;  Y. Song;  M.-Z. Pan and Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(624Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：307/88  |  提交时间：2017/09/11